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C M Y CM MY CY CMY K 크기가 작고 정밀한 초정밀 금형을 접촉식으로 측정하는 것은 누가봐도 어렵다. 게다가 기존의 접촉식 측정 방식은 점이나 선으로만 측정이 가능했다. 따라서 대상 물체 전체의 요철 상태를 파악할 수 없었다. 결국 감각에 의존해서 포인트를 정해 측정해야 했고, 측정값이 일정하지 않 았다. 반면 3차원 형상 측정기는 다차원 삼각 측정 방식을 사용해 대상 물체 전체의 요철 상태 를 측정한다. KEYENCE의 VR-5000은 23˚의 각도로 백색광을 투영 패턴에 대한 거리 값을 산출하여 알고 리즘을 통해 평가한다. 광학계 모든 장비가 그렇듯, 90˚경사는 측정할 수 없다. 이 장비는 88˚ 까지는 측정이 가능하다. 한 번에 측정할 수 있는 범위는 18~24mm이고 해상도(Resolution) 는 0.1μm, 반복 정밀도는 0.4μm이다. 측정 버튼을 누르면 1초 만에 형상측정 된 결과를 얻을 수 있다. 검사 설정 OK, NG 같은 경우는 기존에는 점으로만 평가하던 부분을 면 전체를 스캔 하므로 보다 정확한 양부를 수초 만에 판별한다. KEYENCE 3D 형상 측정기 VR-5000 순식간에 형상 측정 1 LED 광원을 면 방식으로 조사해서 스캔 데이터를 얻는다. 2 스캔 결과 만들어진 STL 파일 화면. 1 2 1 백색광을 조사해 1초면 스캔 완료. 2 스캔 결과가 해석 모드 화 면에 나타났다. 1 2