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November 2018 87 자동화된 반도체 장비 유지보수 솔루션 아트라스콥코의 스마트 PM 솔루션은 국내 최초로 발표한 반도체 유지보수 자동 화 시스템이다. 수작업으로 인한 생산성 저하를 막고 장비의 사용 연한을 극대화 하기 위해 개발된 자동 조립/계측 시스템이다. 정교하고 자동화된 공구는 물론, 작업자 가이드 시스템을 통한 정확한 위치 제어로 웨이퍼 품질 향상과 장비 고장 률 감소도 기대할 수 있다. 아트라스콥코 www.atlascopco.com Fieldbus 인터페이스를 지원하는 모니터링 시스템 아이에프엠일렉트로닉의 VSE 시리즈는 아날로그 시그널 뿐만 아니라 가속이나 물리적인 힘을 평가하는 6채널의 진단 시스템이다. 연결된 센서의 시그널들은 지 속적으로 VSE15x를 통해 처리되어 상태 모니터링을 위한 특정값을 계산하고 하 나의 파라메터 세트로 정의한다. 각 결과는 한곗값과 비교되어 공정과 설비의 상 태에 대한 정보로 변모된다. 품질의 저하는 초기 단계에서 인식되어 추후 발생하 는 오류와 피해를 미리 방지할 수 있다. fieldbus 연결을 통해 측정값은 컨트롤러 에 직접 표시되며 설비의 작동상태와 공정에 적용된다. ㈜아이에프엠일렉트로닉 www.ifm.com/kr 완전 통합 12V 전력 차단기 ST마이크로일렉트로닉스가 프로그래머블 전자 전력 차단기 STPW12를 출시해 12V 버스에서 결함 있는 부하를 빠르고 안전하게 차단하는 편리한 통합 솔루션을 제공한 다. STPW12는 파워 레일과 부하 사이에 삽입되며, 낮은 저항(50mΩ)의 전력 스위치 와 부하 전력 센싱용 정밀 회로를 갖추고 있다. 사용자가 설정한 프로그램 한계치를 초 과하면 스위치가 꺼지고 전용 모니터/결함 핀 상의 신호가 호스트시스템에 이를 알려 준다. 정상 동작에서 이 출력은 부하 전력에 비례하는 아날로그 전압을 제공하여 상태 모니터링을 지속할 수 있게 한다. ST마이크로일렉트로닉스 www.st.com/stgap