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아기자기한 협동로봇 사이에 있어서인지, 압 도적인 크기가 돋보이는 Robo VAC FL 시리 즈는 티이에스가 자체 개발한 OLED라인에 특화된 진공 이송 로봇이다. 진공 이송 로봇은 고온·진공 상태 공간인 챔버 안에서 디스플레 이 패널을 자동으로 이송한다. 얇고 큰 기판일 수록 처짐 현상이 발생해 작은 충격에도 쉽게 깨질 수 있는데, 진공 상태에서는 기판 처짐이 더 심해져 일반 대기에서 작동하는 로봇보다 작업환경이 훨씬 까다롭다. 디스플레이의 크 기가 커질수록 진동을 잡는 기술이 중요한데, 티이에스는 이를 로봇 관절의 정밀한 제어로 잡아내면서 작업 속도를 크게 높였다. 티이에스와 협업하고 있는 일본 지능형 로봇 전문기업 ZMP의 로보카 1/10도 만나볼 수 있었다. 실제 자율주행 자동차를 1/10로 줄여 놓은 크기로, 8개의 센서, CPU 보드, 자이로 스코프, 카메라, 엔코더, 구동계, 조향기 등 개 발 플랫폼을 갖추고 있다. 소프트웨어 개발자 들은 프로그램만 짜서 테스트할 수 있어 실제 자동차 크기로 시제품을 만드는 것보다 훨씬 경제적이다. 이는 특히 최근 화두인 무인반송 차(AGV) 등 연구 개발이 활발한 분야에 유용 하게 활용될 전망이다. 1 로보카 1/10 2 티이에스가 자체 개발한 진공 이송 로봇 Robo VAC FL 시리즈 1 2 October 2017 79 까다로운 작업 환경에서도 손쉬운 이송 – 티이에스